Emissionselektronenmikroskop

Metallography
Elektronenmikroskop, das im Gegensatz zum normalen Durchstrahlungsverfahren das massive Objekt direkt abbildet.

Zur Abbildung der Probenoberfläche wird das unterschiedliche Emissionsvermögen der Probenkomponenten für Elektronen genutzt. Die Elektronen werden entweder durch Erhitzen des Objekts, durch Beschuss der Probe mit Ionen oder durch einfallende Primärelektronen freigesetzt. Es können Festkörper, die elektrisch leitend sind, bei verschiedenen Temperaturen und hoher Vergrößerung untersucht werden. Beispielsweise können das Kornwachstums- und die Rekristallisationsvorgänge direkt beobachtet und nacheinander photographisch festhalten werden. Auch nichtleitendende Präparate sind für die Untersuchung am Emissionselektronenmikroskop geeignet. Diese sollten zuvor zur besseren Ableitung der Elektronen im Vakuum mit einer dünnen Kohlenstoffschicht bedampft werden.

Die erreichbaren Vergrößerungen liegen im Bereich zwischen Lichtmikroskop (1000 : 1) und Elektronenmikroskop (bis 100000 : 1).