Lichtschnittmikroskop

Allgemein
Mikroskop zur berührungslosen Vermessung von Oberflächenprofilen und Bestimmung der Oberflächenrauheit, insbesondere für empfindliche Oberflächen. Auf die zu prüfende Oberfläche fällt eine Laserlichtlinie im Winkel zwischen 30 und 60°, sodass ein Höhenprofil des Messobjektes gewonnen wird. Der Versatz des Laserlichtes erzeugt die Information über den Höhenverlauf. Die unterschiedliche Reflexion wird über eine Flächenkamera zu einem Bild verarbeitet. Die Verzerrung der Linie kann entweder fotografisch dargestellt oder mit einem Okularmikrometer ausgemessen werden.

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